Microstructural characterization and hardening behavior of reactive magnetron sputtered TiN/Si₃N₄ multilayer thin films
- Författare
- Hans Söderberg
- (Hans Söderberg., Lic.-avh. Luleå : Luleå tekniska univ., 2004)
- Genre
- theses, Avhandlingar
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 2004 | Sverige, Luleå | 64 sidor. ill. |