Microstructural characterization and hardening behavior of reactive magnetron sputtered TiN/Si₃N₄ multilayer thin films

Författare
Hans Söderberg
(Hans Söderberg., Lic.-avh. Luleå : Luleå tekniska univ., 2004)
Genre
theses, Avhandlingar
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
2004 Sverige, Luleå 64 sidor. ill.